セミコンウエストのレポート記事、キヤノンが開発しているナノインプリント・リソグラフィ技術の講演から - Electronics Pick-Up by Akira Fukuda
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SEMICON West 2015リポート(8):ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演(1)〜低い装置コストが最大の武器 (1/2) - EE Times Japan
http://eetimes.jp/ee/articles/1509/04/news028.html