産総研:超微細回路を簡便・高速・大面積に印刷できる新原理の印刷技術を開発

http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2016/pr20160420/pr20160420.html
線幅が可視光回折限界に近いから、透明なのもできる。
銀も無駄にならない感じ。

 図1に、今回開発したスーパーナップ法による金属配線の印刷製造プロセスを模式的に示す。まず、基材表面上に形成した非晶性のフッ素系ポリマーの薄層上に、波長172ナノメートルの紫外光を、フォトマスクを通して照射し、パターニングする(図1(1))。これにより、銀ナノ粒子を化学吸着する活性の高い表面(反応性表面)パターンの潜像を得る(図1(2))。次に、基材表面の全面を、銀ナノインクで濡らしたブレードによって掃引すると、反応性表面上にのみ銀ナノ粒子が選択的に吸着し(図1(3))、銀ナノ粒子どうしの自己融着により銀配線パターンが得られる(図1(4))。

 現在、田中貴金属により、今回の技術を用いたフレキシブルなタッチパネルセンサーの製品化が、2017年1月のサンプル出荷を目指して進められている。